電容式傳感器是一種利用電場變化來測量各種物理量的裝置，其工作原理基于電容器電容量的變化，這種變化可以由電極間距、電極面積或電極間介質(zhì)的介電常數(shù)變化引起。當這些參數(shù)發(fā)生變化時，電容器的電容量會隨之改變，通過測量電路可將這種電容量的變化轉(zhuǎn)換為電信號輸出，從而實現(xiàn)對被測量的測量。

　　電容式傳感器的主要優(yōu)點：

　　1、溫度穩(wěn)定性好：電容值一般與電極材料無關(guān)，利于選擇溫度系數(shù)低的材料，且本身發(fā)熱極小，影響穩(wěn)定性甚微。相比之下，電阻傳感器有電阻，供電后易產(chǎn)生熱量；電感式傳感器存在銅損、磁滯和渦流損耗等，易發(fā)熱產(chǎn)生零漂。

　　2、結(jié)構(gòu)簡單：構(gòu)造簡易，易于制造，能保證較高精度，可做得小巧，用于特殊測量。能在高溫、強輻射及強磁場等惡劣環(huán)境中工作，承受大溫度變化、高壓力、高沖擊、過載等，還可測量超高溫、低壓差及帶磁工作。

　　3、動態(tài)響應好：帶電極板間靜電引力極小，所需作用能量少，可動部分可做得輕薄，質(zhì)量輕，固有頻率高，動態(tài)響應時間短，能在幾兆赫茲頻率下工作，適用于動態(tài)測量。介質(zhì)損耗小，可用較高頻率供電，系統(tǒng)工作頻率高，可測高速變化參數(shù)。

　　4、可實現(xiàn)非接觸測量且靈敏度高：能非接觸測量回轉(zhuǎn)軸振動、偏心率，小型滾珠軸承徑向間隙等，測量時具有平均效應，可減小工件表面粗糙度影響。還能測極低壓力、力和小加速度、位移等，分辨力高，可感應0.01μm甚至更小位移，采用差動結(jié)構(gòu)并接成電橋式時零殘極小，允許電路高倍率放大，儀器靈敏度高。